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TDLAS技術(shù)(可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜)

更新時(shí)間:2022-02-16  |  點(diǎn)擊率:6931

TDLAS氣體檢測(cè)技術(shù)原理

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當(dāng) LD 出光通過(guò)氣體腔,用 PD 對(duì) LD 的光功率進(jìn)行接收。

當(dāng)改變 LD 驅(qū)動(dòng)電流是,輸出光功率將會(huì)隨之改變,出光波長(zhǎng)也會(huì)有所改變。我們可以推導(dǎo)出輸出光功率和出光波長(zhǎng)的變化關(guān)系,見(jiàn)下圖:

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如果在波長(zhǎng)掃頻的范圍內(nèi),沒(méi)有出現(xiàn)氣體吸收線,那么 PD 接收的光功率和 LD 輸出的光功率應(yīng)該是一樣的。但是,當(dāng)我們?cè)诓ㄩL(zhǎng)范圍內(nèi)發(fā)現(xiàn)吸收線是,在光功率測(cè)試時(shí)會(huì)有凹陷,查看下圖。通過(guò)凹陷處的波長(zhǎng)和深度,可以判斷該氣體的種類和強(qiáng)度。這個(gè)是氣體探測(cè)的基本原理。

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除了改變驅(qū)動(dòng)電流之外,我們也可以通過(guò)改變激光器的工作溫度,來(lái)達(dá)到波長(zhǎng)掃描的目的。但是用改變工作溫度的方式,比較慢,一般需要幾秒鐘,所以,通常情況下,我們先會(huì)用改變工作溫度的方法調(diào)節(jié)波長(zhǎng)的大致范圍(包含相關(guān)氣體的吸收線),然后通過(guò)改變驅(qū)動(dòng)電流的方法來(lái)進(jìn)行精確的調(diào)節(jié),改變電流的掃描速度一般在 10Hz 到 10KHz。

為了提高氣體吸收的高靈敏度,我們需要增長(zhǎng)氣體腔的長(zhǎng)度,但是這將會(huì)使設(shè)備變得更加龐大,為了解決這個(gè)體積問(wèn)題,我們可以在氣體腔體兩端加上特殊的鏡片(低損耗的反射鏡),他可以將激光器的出光在氣體腔內(nèi)來(lái)回的反射,這樣光通過(guò)氣體的距離就變長(zhǎng)了,可以提高測(cè)試的高靈敏度,就算是很微弱的吸收線也可以完成良好的測(cè)試,原理查看下圖:

MP-TDLAS(Multi-pass Tunable Diode Laser Absorption Spectorscopy)原理:

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假設(shè),我們的發(fā)射光為脈沖光,進(jìn)入氣體腔之后,當(dāng)打開(kāi)激光的時(shí)候,輸入光在反射鏡上來(lái)回反射,有些光會(huì)被 PD 探測(cè)到;當(dāng)關(guān)掉激光,PD 探測(cè)到的光功率隨時(shí)間下降的很慢。假設(shè),相關(guān)氣體存在于氣體腔內(nèi),將會(huì)對(duì)光功率進(jìn)行吸收,那么光功率會(huì)下降的非???。氣體吸收越強(qiáng),光功率下降就會(huì)加速,從此可以推斷氣體的濃度。因?yàn)榉瓷溏R使光程達(dá)到了數(shù)公里,使得該方法是靈敏的方法。原理圖如下:CRDSCavity Ring-Down Spectroscopy)原理:

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這些是基本原理,在實(shí)際操作中會(huì)復(fù)雜很多。下面是操作結(jié)構(gòu)圖之一:

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注:每個(gè)客戶都有自己的實(shí)驗(yàn)原理,該原理圖只是一種做法,不能代表所有。

針對(duì)該結(jié)構(gòu)圖,亢特主要可以提供:激光器、激光器驅(qū)動(dòng)、長(zhǎng)光程氣體吸收池、探測(cè)器和鎖相放大器。

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